Выращивание монокристаллов тугоплавких металлов
Выращивание монокристаллов тугоплавких металлов
Исходной заготовкой для получения монокристаллов вольфрама плазменно-дуговой плавкой служат штабики. Выращивание монокристаллов производится на описанных выше плазменно-дуговых установках, работающих на постоянном токе в атмосфере аргона или гелия. Обычно применяются следующие режимы и условия получения монокристаллов: рабочее напряжение 30—40 В, максимальная сила тока 600—1000 А в зависимости от диаметра монокристалла; давление плазмообразующего газа составляет 131,7— 152,0 кПа; скорость вытягивания—1,5—4 мм/мин [127].
Указанным способом можно получать монокристаллы вольфрама диаметром до 50 мм и длиной до 300 мм. По существу это уже крупные слитки чистого вольфрама с монокристаллической структурой, которые могут быть использованы не только для изготовления монокристаллических деталей приборов и установок, но и как исходная заготовка для переработки путем пластической деформации на ленту, проволоку, плющинку и другие полуфабрикаты.
В процессе плавки происходит значительная очистка металла от примесей как за счет дегазации и через газовую фазу в результате химического взаимодействия примесей, так и путем прямого испарения примесей в результате сильного перегрева жидкого металла. Как уже указывалось, рафинирование металла происходит как в жидкой ванне, так и во время падения капель в плазменной струе.
Содержание примесей в исходном сырье и в монокристаллах вольфрама, полученных плазменно-дуговой капельной плавкой, по данным работы [122], показано в табл. 34, где для сравнения приведены соответствующие данные для монокристаллов, полученных зонной плавкой. Эти данные показывают, что в монокристаллах вольфрама, полученных плазменно-дуговой плавкой, содержание азота, кислорода и водорода находится на уровне, а содержание углерода значительно ниже, чем в монокристаллах, полученных электроннолучевой зонной плавкой. Более сильное обезуглероживание при плазменно-дуговой плавке происходит, по-видимому, в основном за счет взаимодействия углерода с кислородом, содержащимся в металле и плазмообразующем газе.
Степень обезуглероживания зависит от ряда факторов: величины поверхности расплава (диаметра монокристалла), скорости плавки, интенсивности перемешивания, температуры и др. Некоторые из этих зависимостей, по данным работы [127, с. 5], показаны на рис. 76.
Таблица 34
Содержание примесей, % (по массе)
Примесь |
штабики марки Вч |
монокристаллы, полученные зонной плавкой в 2 Прохода |
монокристаллы, полученные плазмеиио-дуговой плавкой |
Углерод …. |
0,015—0,025 |
0,01—0,015 |
0,004—0,007 |
Кислород …. |
0,01 |
0,001 |
0,002 |
Азот….. |
0,001 |
0,001 |
0,001 |
Водород …. |
0,001 |
0,001 |
0,001 |
Молибден . . . |
0,1—0,2 |
0,01 |
0,01—0,02 |
Хром….. |
ыо-4 |
1-10—4 |
1-ю-4 |
Железо …. |
2-10-2 |
1-10-2 |
5-10-3 |
Кремний …. |
6-10-* |
3-10-4 |
3-10-4 |
Алюминий . . . |
l-10-з |
1-10—4 |
3-10-4 |
Олово….. |
5-10-4 |
1- ю-4 |
1-Ю-4 |
Медь….. |
3- Ю-з |
1-10-3 |
ЫО-3 |
На высокую чистоту монокристаллов, полученных плазменно-дуговой капельной плавкой, указывают также результаты измерения остаточного электросопротивления при 300 К и 4,2 К, микротвердости и температуры хрупко-вязкого перехода и др. Так, для указанных монокристаллов Рзооц/р4 2К =2000, для зонно-плавленных— 1500—4000.
Крупные монокристаллы вольфрама, полученные плазменно-дуговой плавкой, имеют временное сопротивление 882 МПа, монокристаллы зонной плавки 882—998 МПа, микротвердость 3332— 3430 мПа против 3136 МПа для зонноплавленных монокристаллов. Относительное удлинение монокристаллов сильно зависит от кристаллографического направления и лежит в пределах 2—15%; температура перехода из хрупкого в пластичное состояние несколько выше комнатной. При испытаниях на сжатие при комнатной температуре монокристаллы вольфрама выдерживают 35%-ную деформацию без разрушения. Крупные монокристаллы вольфрама допускают ковку при 300—400° С с суммарной степенью деформации 85%. Для сравнения укажем, что деформация металлокерамического вольфрама производится при 1500—1700° С.
Более полно свойства монокристаллов вольфрама, полученных плазменно-дуговой капельной плавкой, в зависимости от кристаллографического напряжения приведены в табл. 35*.
Некоторое дальнейшее улучшение свойств монокристаллов вольфрама плазменно-дуговой плавки наблюдается после отжига для снятия напряжений при 1800—2000° С в течение 3 ч. При таком высокотемпературном отжиге микротвердость снижается с 3500 до 3100—3200 МПа, удельное электросопротивление при 20° С — с 5,8Х ХЮ-® до 5,2-10-в Ом-см, Рзоок^Р-1,2к увеличивается с 2000 до 2500—3000.
В работе [123, с. 5] приведены результаты исследований по выплавке крупных монокристаллов молибдена плазменно-дуговым методом, а также их структуры и свойств. В качестве исходного материала использовали технический спеченный молибден марки Мч. В атмосфере аргона и гелия указанным методом плавки получали монокристаллы диаметром до 35 мм и длиной до 250 мм по режимам, близким к режимам выплавки вольфрамовых монокристаллов.
Как и для вольфрама, плазменно-дуговой переплав способствует значительной очистке молибдена, особенно от примесей внедрения. Иллюстрацией этому могут служить данные, приведенные в табл. 36, полученные на монокристаллах молибдена диаметром 20— 30 мм после двойного плазменно дугового переплава.
Таблица 36
Содержание примесей в монокристаллах молибдена [123]
Примесь |
Содержание примесей, % (по массе) |
||
исходный молибден марки Мч |
монокристаллы плазменно-дуговой плавки |
монокристаллы электроннолучевой плавки |
|
Углерод …. |
0,014 |
0,004 |
0,005 |
Кислород . . |
0,011 |
0,001 |
0,001 |
Водород …. |
0,0014 |
0,0007 |
0,0005 |
Марганец . . . |
0,0020 |
0,0020 |
0,0015 |
Кремний …. |
0,0027 |
0,0020 |
0,0020 |
Хром….. |
0,0015 |
0,0015 |
0,0015 |
Никель …. |
0,0015 |
0,0015 |
0,0015 |
Вольфрам . . . |
0,043 |
0,040 |
0,040 |
Железо …. |
0,040 |
0,020 |
0,015 |
Медь….. |
0,025 |
0,0015 |
0,015 |
Алюминий . . . |
0.0015 |
0,0010 |
0,0010 |
В этой таблице для сравнения приведены соответствующие данные для монокристаллов молибдена диаметром 18 мм, полученных зонной плавкой после двух проходов со скоростью перемещения зоны 4 мм/мин.
Таким образом, как и для монокристаллов вольфрама, метод плазменно-дуговой плавки позволяет получать крупные монокристаллы молибдена, не уступающие по чистоте и свойствам монокристаллам электроннолучевой зонной плавки.